超高純度ファインセラミックスSiC部材(PureBeta)

優れた特性を持つ超高純度高密度SiC焼結体 PureBetaのテクニカルデータをご紹介します。

不純物含有量(PureBeta)

金属不純物レベル6N以上の高純度と、理論密度の98%以上の高密度を両立しました。

PureBeta
元素
バルク
(ppm)
表面
(1010atoms/cm²)
B
0.02
-
Na
<0.01
-
Al
0.08
-
K
<0.01
<DL
Ti
0.02
<DL
Cr
0.02
<DL
Mg
0.02
-
Fe
0.05
0.2
Co
<0.01
<DL
Ni
<0.01
<DL
Cu
0.04
<DL
Zn
0.01
<DL
W
<0.01
<DL

バルク:グロー放電質量分析(GD-MS)による
表面:全反射蛍光X線分析(TXRF)による
DL:検出下限
※左記分析値は代表値であり製品の純度を保証するものではありません。

材料の特性比較

優れた特性を持つSiC「PureBeta」。
従来、金属助材なしでは焼結しないとされていたSiCを、独自技術により非金属助材による焼結を可能にしました。

特性
SiC
(PureBeta)
Si
C
SiO2
Al2O3
AlN
密度
g/cm³
3.15
2.33
1.55
2.1
3.9
3.2
ビッカーズ硬度
-
2200
1000
120Hs
800/div>
1900
1800
曲げ強度
MPa
600
300
120
40
500
300
弾性率
GPa
390
190
28
66
400
320
破壊靭性
MPa/m0.5
4.4
-
-
-
3.5
3.0
熱膨張率
E-6/K
4.3
3.9
3.2
0.5
7.9
4.0
熱伝導率
W/m·K
230
160
8
1
38
170
体積抵抗率
Ω·cm
2E-02
2E+04
4E-03
2E-02
1E+14
1E+14

※表の値は代表値です。

PureBeta 仕様表

組成
ß-SiC
製造方法
ホットプレス
加工可能寸法
Φ480mm以下、厚み100mm以下
耐蝕性
耐フッ酸性良好、耐イオン、耐プラズマ性に優れる
使用温度範囲
真空中:1400℃以下 大気圧下:1700℃以下
適応分野
高純度半導体用部品、ヒーター製品

各種物性(PureBeta)

特性
PureBeta
測定法
構造
-
Poly ß-SiC
X線解析法
密度
g/cm³
3.15
アルキメデス法
ビッカーズ硬度
-
2200
ビッカーズ硬度計
曲げ強度
MPa
600
3点曲げ強度試験
弾性率
GPa
390
超音波パルスエコー法
ポアソン比
-
0.15
超音波パルスエコー法
熱膨張係数
/K
4.3×10-6
示差膨張計 (RT~1000ºC)
熱伝導率
W/m·K
230
レーザーフラッシュ法 (RT)
比熱
J/g·K
0.68
示差走査熱量計 (RT)
体積抵抗率
Ω·cm
0.02
4探針法 (RT)

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