セラミック

窒化アルミニウム(AlN)

窒化アルミニウム(AlN)

セラミック材料技術を応用して開発された窒化アルミニウム製品は、優れた熱伝導性、高い電気絶縁性及び、シリコンに近い熱膨張等の特性を持っており、高熱伝導基板用材料として注目されています。パワートランジスタモジュール基板、発光ダイオード用マウント基板、ICパッケージに使用されています。

アルミナ基板・アルミナジルコニア基板・窒化アルミニウム基板特性値一覧

項目 単位 Al2O3 Al2O3/ZrO2 AlN Si3N4
HA-96-2 HBS ZTA AN-170 AN-200 AN-230 SN-90
材料 - - 96% 96.50% Al2O3/ZrO2 AlN AlN AlN Si3N4
呈色 - - 白色 白色 白色 灰色 灰色 ベージュ色 灰色
見掛密度 - g/㎤ 3.75 3.75 4.00 3.30 3.28 3.25 3.22
表面粗さRa - µm 0.4 0.3 0.2 0.3 0.5 - 0.4
光反射率 0.3-0.4mmt % 70 70 80 35 - - -
0.8-1.0mmt 80 80 90 25 - - -
機械的特性 抗折強度 3点曲げ MPa 400 500 700 450 250 200 800
ヤング率 - GPa 330 330 310 320 - - 310
ビッカース硬度 - GPa 14 14 15 11 - - 15
破壊靭性 IF法 MPa・√m 3.0 - 3.5 3.0 - - 6.5
熱的特性 熱膨張係数 40-400°C 10-6/K 6.7 6.7 7.1 4.6 4.6 4.6 2.6
40-800°C 7.8 7.8 8.0 5.2 5.2 5.2 3.1
熱伝導率 25°C W/(m・K) 24 24 27 180 200 230 85
300°C 12 12 16 120 130 145 -
比熱 25°C J/(㎏・K) 750 750 720 720 720 720 680
電気的特性 誘電率 1MHz - 9.8 9.8 10.2 9.0 8.7 8.7 9.0
誘電損失 1MHz 10-3 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2
体積固有抵抗 25°C Ω・㎝ >1014 >1014 >1014 >1014 >1014 >1014 >1014
絶縁破壊電圧 DC ㎸/㎜ >15 >15 >15 >15 >15 >15 >15

特性値

  • 窒化アルミニウム特性値
  • 窒化アルミニウム特性値

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