超高純度ファインセラミックスSiC部材（PureBeta）
優れた特性を持つ超高純度高密度SiC焼結体 PureBetaのテクニカルデータをご紹介します。
不純物含有量（PureBeta）
金属不純物レベル6N以上の高純度と、理論密度の98%以上の高密度を両立しました。
| PureBeta | ||
|---|---|---|
| 元素 | バルク (ppm) |
表面
(1010atoms/cm²) |
| B | 0.02 | - |
| Na | <0.01 | - |
| Al | 0.08 | - |
| K | <0.01 | <DL |
| Ti | 0.02 | <DL |
| Cr | 0.02 | <DL |
| Mg | 0.02 | - |
| Fe | 0.05 | 0.2 |
| Co | <0.01 | <DL |
| Ni | <0.01 | <DL |
| Cu | 0.04 | <DL |
| Zn | 0.01 | <DL |
| W | <0.01 | <DL |
バルク：グロー放電質量分析（GD-MS）による
表面：全反射蛍光X線分析（TXRF）による
DL：検出下限
※左記分析値は代表値であり製品の純度を保証するものではありません。
材料の特性比較
優れた特性を持つSiC「PureBeta」。
従来、金属助材なしでは焼結しないとされていたSiCを、独自技術により非金属助材による焼結を可能にしました。
| 特性 | SiC (PureBeta) |
Si | C | SiO2 | Al2O3 | AlN | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 密度 | g/cm³ | 3.15 | 2.33 | 1.55 | 2.1 | 3.9 | 3.2 |
| ビッカーズ硬度 | - | 2200 | 1000 | - | 800 | 1900 | 1800 |
| 曲げ強度 | MPa | 600 | 300 | 120 | 40 | 500 | 300 |
| 弾性率 | GPa | 390 | 190 | 28 | 66 | 400 | 320 |
| 破壊靭性 | MPa/m0.5 | 4.4 | - | - | - | 3.5 | 3.0 |
| 熱膨張率 | E-6/K | 4.3 | 3.9 | 3.2 | 0.5 | 7.9 | 4.0 |
| 熱伝導率 | W/m·K | 230 | 160 | 8 | 1 | 38 | 170 |
| 体積抵抗率 | Ω·cm | 2E-02 | 2E+04 | 4E-03 | 2E-02 | 1E+14 | 1E+14 |
※表の値は代表値です。
PureBeta 仕様表
| 組成 | ß-SiC |
|---|---|
| 製造方法 | ホットプレス |
| 加工可能寸法 | Φ480mm以下、厚み100mm以下 |
| 耐蝕性 | 耐フッ酸性良好、耐イオン、耐プラズマ性に優れる |
| 使用温度範囲 | 真空中：1400°C以下 大気圧下：1700°C以下 |
| 適応分野 | 高純度半導体用部品、ヒーター製品 |
各種物性（PureBeta)
| 特性 | PureBeta | 測定法 | |
|---|---|---|---|
| 構造 | - | Poly ß-SiC | X線解析法 |
| 密度 | g/cm³ | 3.15 | アルキメデス法 |
| ビッカーズ硬度 | - | 2200 | ビッカーズ硬度計 |
| 曲げ強度 | MPa | 600 | 3点曲げ強度試験 |
| 弾性率 | GPa | 390 | 超音波パルスエコー法 |
| ポアソン比 | - | 0.15 | 超音波パルスエコー法 |
| 熱膨張係数 | /K | 4.3×10-6 | 示差膨張計 (RT～1000°C) |
| 熱伝導率 | W/m·K | 230 | レーザーフラッシュ法 (RT) |
| 比熱 |
J/g·K
|
0.68 | 示差走査熱量計 (RT) |
| 体積抵抗率 | Ω·cm | 0.02 | 4探針法 (RT) |
製品一覧
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