セラミック

超高純度ファインセラミックスSiC部材(PureBeta)

超高純度ファインセラミックスSiC部材(PureBeta)

優れた特性を持つ超高純度高密度SiC焼結体 PureBetaのテクニカルデータをご紹介します。

不純物含有量(PureBeta)

金属不純物レベル6N以上の高純度と、理論密度の98%以上の高密度を両立しました。

PureBeta
元素 バルク
(ppm)
表面
(1010atoms/cm²)
B 0.02 -
Na <0.01 -
Al 0.08 -
K <0.01 <DL
Ti 0.02 <DL
Cr 0.02 <DL
Mg 0.02 -
Fe 0.05 0.2
Co <0.01 <DL
Ni <0.01 <DL
Cu 0.04 <DL
Zn 0.01 <DL
W <0.01 <DL

バルク:グロー放電質量分析(GD-MS)による
表面:全反射蛍光X線分析(TXRF)による
DL:検出下限
※左記分析値は代表値であり製品の純度を保証するものではありません。

材料の特性比較

優れた特性を持つSiC「PureBeta」。
従来、金属助材なしでは焼結しないとされていたSiCを、独自技術により非金属助材による焼結を可能にしました。

特性 SiC
(PureBeta)
Si C SiO2 Al2O3 AlN
密度 g/cm³ 3.15 2.33 1.55 2.1 3.9 3.2
ビッカーズ硬度 - 2200 1000 120Hs 800 1900 1800
曲げ強度 MPa 600 300 120 40 500 300
弾性率 GPa 390 190 28 66 400 320
破壊靭性 MPa/m0.5 4.4 - - - 3.5 3.0
熱膨張率 E-6/K 4.3 3.9 3.2 0.5 7.9 4.0
熱伝導率 W/m·K 230 160 8 1 38 170
体積抵抗率 Ω·cm 2E-02 2E+04 4E-03 2E-02 1E+14 1E+14

※表の値は代表値です。

PureBeta 仕様表

組成 ß-SiC
製造方法 ホットプレス
加工可能寸法 Φ480mm以下、厚み100mm以下
耐蝕性 耐フッ酸性良好、耐イオン、耐プラズマ性に優れる
使用温度範囲 真空中:1400°C以下 大気圧下:1700°C以下
適応分野 高純度半導体用部品、ヒーター製品

各種物性(PureBeta)

特性 PureBeta 測定法
構造 - Poly ß-SiC X線解析法
密度 g/cm³ 3.15 アルキメデス法
ビッカーズ硬度 - 2200 ビッカーズ硬度計
曲げ強度 MPa 600 3点曲げ強度試験
弾性率 GPa 390 超音波パルスエコー法
ポアソン比 - 0.15 超音波パルスエコー法
熱膨張係数 /K 4.3×10-6 示差膨張計 (RT~1000°C)
熱伝導率 W/m·K 230 レーザーフラッシュ法 (RT)
比熱
J/g·K
0.68 示差走査熱量計 (RT)
体積抵抗率 Ω·cm 0.02 4探針法 (RT)

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