MARUWAの石英ガラス製品は、厳選された高純度の材料を使用し、卓越した加工技術と徹底管理されたクリーン環境での生産体制を強みとしています。ますます大型化が進む半導体製造プロセス用途をはじめ、光ファイバー・ソーラーといった次世代製品の製造プロセス用石英チューブや石英ボートなど、お客様のニーズに応える製品を提供いたします。

MARUWA QUARTZについて

石英ガラス製品はMARUWA QUARTZが製造しています。

MARUWA QUARTZ 別ウィンドウ

大口径チューブ製品など大型製品への対応

次世代の18インチ(450mm)を視野に、大口径旋盤やマシニング加工設備を導入し、12インチ(300mm)ウエハー向け炉心管など大型製品の製造技術を確立しています。

大口径旋盤

マシニング加工器

微細加工製品への対応

最新鋭のNC加工機による精密研削加工、細穴穿孔加工など精密微細加工技術を確立しています。
また、ガス導入管の細穴加工などレーザー加工機による任意曲線切断加工も可能です。

微細加工製品への対応

微細加工製品への対応

クリーン環境での一貫生産

火加工以降のすべての工程をクリーン環境で行うことで、製品のコンタミネーション(汚染)発生を極限まで抑えています。特に、出荷検査・最終洗浄・減圧パッケージの工程はクラス1000以下の徹底したクリーン環境で行われ、汚染のない状態のまま納品することができます。

火加工工程

洗浄工程

洗浄工程

製品群一覧

石英ガラス製品は、お客様からの要望に基づくカスタムメイドです。
ご注文にあたり、仕様、納期の詳細について、お問い合わせフォームをご利用いただくか、最寄りの営業所までお問い合わせ下さい。

製品に関するお問い合わせ

最寄りの営業所

半導体分野

半導体製造プロセスの拡散CVD、洗浄、エッチングに至るまであらゆるプロセスに対応しています。
12インチ(300mm)以上の大型製品の製造にも対応しています。

半導体分野

半導体分野

半導体分野

プロセス治具

  • ・石英ボート
  • ・その他治具全般

洗浄関連製品

  • ・オーバーフロー槽
  • ・キャリア
  • ・ガイド

チューブ製品

  • ・プロセスチューブ
  • ・アウターチューブ
  • ・インナーチューブ

エッチャー製品

  • ・各種チャンバー
  • ・リング

化合物半導体分野

化合物半導体分野

MO-CVDをはじめとする各プロセスに対応しています。

  • ・チューブ型反応容器
  • ・ボックス型反応容器
  • ・大型トレイ

光ファイバー分野

光ファイバー分野

光ファイバー分野

光ファイバー母材加工、バーナー、チャンバーなど各プロセスの石英製品に対応しています。

  • ・石英炉心管
  • ・石英多重管バーナー
  • ・光ファイバー母材細穴加工
  • ・各種石英チャンバー

ソーラー分野

ソーラー分野

シリコンウエハー用石英製品に対応しています。

  • ・石英チューブ
  • ・石英ボート

株式会社MARUWA QUARTZ

石英ガラス製品はMARUWA QUARTZが製造しています。

Product Inquiries

石英ガラス製品

  • MARUWA QUARTZ石英ガラス製品はMARUWA QUARTZが製造しています。

ピックアップ

  • 【AEC-Q200準拠】車載向けDC電源ライン用EMIフィルター <PMZ AMVシリーズ>
  • MARUWA製貫通形コンデンサはお客様の御要望に応じてカスタマイズ(ASSY)が可能です。

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