窒化アルミニウム部品

窒化アルミニウムは、その高熱伝導性、高耐食性を活かして、半導体製造装置用のヒーターや静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレートなどで使用されています。
また、MRI等の医療機器用の部品にも使用されています。
MARUWAでは長年培ってきた材料技術をベースに、研究開発・素材作製・機械加工まで一貫した体制を確立しています。 独自のホットプレス法と様々な機械加工を用いた生産により、半導体製造装置や医療関連における最先端の技術要求を満たすことが可能です。

製品一覧

製品名

用途

半導体製造装置用部品(ヒーター、静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレート)、医療機用部品

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