窒化アルミニウム部品
特長
窒化アルミニウムは、その高熱伝導性、高耐食性を活かして、半導体製造装置用のヒーターや静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレートなどで使用されています。 また、MRI等の医療機器用の部品にも使用されています。 MARUWAでは長年培ってきた材料技術をベースに、研究開発・素材作製・機械加工まで一貫した体制を確立しています。 独自のホットプレス法と様々な機械加工を用いた生産により、半導体製造装置や医療関連における最先端の技術要求を満たすことが可能です。
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金属アルミニウムに匹敵する優れた熱伝導率
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シリコンに近い熱膨張率
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高い電気絶縁性
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フッ素系ガスなどに対する耐プラズマ性
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欠陥となるボイドがない緻密な焼結体
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目的に応じた材料選択（高熱伝導タイプ／高純度タイプ）
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半導体製造装置関連に対応したサイズ
用途
半導体製造装置用部品（ヒーター、静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレート）、医療機用部品
特性値
| 項目 | 単位 | AlN | |||
| HAN-170 | HAN-90 | ||||
| 見掛密度 | g/㎤ | 3.30 | 3.20 | ||
| 機械的特性 | 抗折強度 | MPa | >350 | >320 | |
| ヤング率 | GPa | 320 | 320 | ||
| 熱的特性 | 比熱 | J/(㎏･K) | 740 | 730 | |
| 熱膨張係数 | ~800°C | 10-6/K | 5 | 5 | |
| 熱伝導率 | W/(m･K) | 170 | 90 | ||
| 電気的特性 | 誘電率 | 1MHz | - | 9.0 | 9.0 |
| 誘電損失 | 1MHz | 10-4 | 5 | 4 | |
| 体積固有抵抗 | 25°C | Ω･㎝ | >1014 | >1012 | |
| 絶縁破壊電圧 | ㎸/㎜ | >15 | >15 | ||
| 用途 | ヒーター、ヒートシンク | サセプタ、リング | |||
推奨サイズ
φ180～380mm × 1～10ｍｍt （将来的にφ550対応予定）
※上記サイズ以外もカスタム対応いたします。
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