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QUARTZ GLASS

MARUWAの石英ガラス製品は、厳選された高純度の材料を使用し、卓越した加工技術と徹底管理されたクリーン環境での生産体制を強みとしています。ますます大型化が進む半導体製造プロセス用途をはじめ、光ファイバー・ソーラーといった次世代製品の製造プロセス用石英チューブや石英ボートなど、お客様のニーズに応える製品を提供いたします。

MARUWA QUARTZについて

石英ガラス製品はMARUWA QUARTZが製造しています。

icon icon MARUWA QUARTZ icon

大口径チューブ製品など大型製品への対応

次世代の18インチ(450mm)を視野に、大口径旋盤やマシニング加工設備を導入し、12インチ(300mm)ウエハー向け炉心管など大型製品の製造技術を確立しています。

  • 大口径旋盤

    大口径旋盤

  • 大口径旋盤

  • マシニング加工器

    マシニング加工器

微細加工製品への対応

最新鋭のNC加工機による精密研削加工、細穴穿孔加工など精密微細加工技術を確立しています。
また、ガス導入管の細穴加工などレーザー加工機による任意曲線切断加工も可能です。

  • 細管加工例

    細管加工例

  • レーザー細穴加工例

    レーザー細穴加工例

クリーン環境での一貫生産

火加工以降のすべての工程をクリーン環境で行うことで、製品のコンタミネーション(汚染)発生を極限まで抑えています。特に、出荷検査・最終洗浄・減圧パッケージの工程はクラス1000以下の徹底したクリーン環境で行われ、汚染のない状態のまま納品することができます。

  • 火加工工程

    火加工工程

  • 洗浄工程

    洗浄工程

  • 洗浄工程

    洗浄工程

製品群一覧

石英ガラス製品は、お客様からの要望に基づくカスタムメイドです。
ご注文にあたり、仕様、納期の詳細について、お問い合わせフォームをご利用いただくか、最寄りの営業所までお問い合わせ下さい。

半導体分野


半導体製造プロセスの拡散CVD、洗浄、エッチングに至るまであらゆるプロセスに対応しています。
12インチ(300mm)以上の大型製品の製造にも対応しています。

  • チューブ製品

    チューブ製品
    • プロセスチューブ

    • アウターチューブ

    • インナーチューブ

  • プロセス治具・エッチャー製品

    プロセス治具・エッチャー製品
    • 石英ボート

    • その他治具全般

    • 各種チャンバー

    • リング

  • 洗浄関連製品

    洗浄関連製品
    • オーバーフロー槽

    • キャリア

    • ガイド

  • 化合物半導体分野


    化合物半導体分野

    MO-CVDをはじめとする各プロセスに対応しています。

    • チューブ型反応容器

    • ボックス型反応容器

    • 大型トレイ

  • 光ファイバー分野


    光ファイバー分野

    光ファイバー母材加工、バーナー、チャンバーなど各プロセスの石英製品に対応しています。

    • 石英炉心管

    • 石英多重管バーナー

    • 光ファイバー母材細穴加工

    • 各種石英チャンバー

  • ソーラー分野


    ソーラー分野

    シリコンウエハー用石英製品に対応しています。

    • 石英チューブ

    • 石英ボート

石英ガラス製品はMARUWA QUARTZが製造しています。

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