| 種類 |
特長 |
用途 |
| 214ムク棒 |
エアーラインと異物を最小限に抑えたもので、寸法精度の非常に安定した透明溶融石英ムク棒 |
半導体産業でのウェハキャリア用に加工使用 |
| 214ＬＤ石英管 |
214と同等の優れた特性を持つ透明溶融石英管で、大口径用途向け |
半導体産業で拡散、酸化、ＬＰＣＶＤ等に用いられる |
224石英管、
ＬＤ管、ムク棒 |
214と同等の非常に優れた高粘性と外観をもつ。特殊工程にてアルカリ含有量をＰＰＢのレベルにまで下げたもの |
微量のアルカリ分ですらチップの歩留まりに悪影響を及ぼすようなシビアな半導体拡散炉に用いられる |
244石英管、
ＬＤ管、ムク棒 |
224と同等だが、アルミナレベルを下げたもの |
アルミナレベルの低い石英を求めるお客様に |
| 124インゴット |
透明石英板、透視窓用板材、直径1.8メートル、高さ60センチ、重さ4トンのインゴットより作られる。高純度の部材で、極小の泡を含む場合がある。多様なサイズ、形状が用意できる。 |
半導体産業でのウェハキャリア、フランジ構造の加工に使われる。又、低価格で良品質が求められる種々の化学用途 |
| 144インゴット |
124グレードと同等で、アルミナ、カリウム、ナトリウムレベルを下げたもの |
アルミナ、カリウム、ナトリウムレベルの低い素材を求めるお客様に |
| 012インゴット |
124と同じ形状の透明合成溶融石英インゴット |
その超高純度により、最も重要な半導体工程で使用される板やディスクに使用される |
