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■品種
| 製法別分類 |
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MARUWA QUARTZ |
| 素材メーカー別相当品 |
モメンティブ・
パフォーマンス・
マテリアルズ |
住金C＆Q |
東ソークォーツ |
SAINT-GOBAIN |
| 電気溶融品 |
KE |
FN-101 |
124、214 |
SK-3030 |
HR |
ST-10 |
| 酸水素溶融品 |
KF |
FN-102 |
− |
SK-4304 |
Ｎ |
VITREOSIL、TSC-3 |
| 高純度電気溶融品 |
KE-FS |
FH-301 |
144、224 |
SK-3036 |
HRP |
− |
| 高純度酸水素溶融品 |
KF-F1 |
FH-302 |
− |
SK-4306 |
NP |
TSC-4、-5 |
| 無水合成石英 |
− |
FS-401 |
0.12 |
− |
− |
− |
| 有水合成石英 |
SY |
FS-402 |
− |
SK-1300 |
ES |
SPECTROSIL |
MARUWAはモメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズのAuthorized Fabricator and Distributorです。
素材の安定供給源として、素材の品質･技術の研究開発者としてモメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズも顧客に貢献致します。
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■不純物分析例
単位：ppm
| MARUWA QUARTZ 品番 |
Al |
Fe |
Cu |
Na |
K |
Li |
OH |
| KE |
FN-101 |
14.0 |
0.2 |
＜0.05 |
0.8 |
0.6 |
0.6 |
＜5 |
| KF |
FN-102 |
15.0 |
0.3 |
＜0.03 |
0.8 |
0.7 |
0.4 |
約150 |
| KE-FS |
FH-301 |
8.0 |
0.2 |
＜0.05 |
＜0.2 |
0.4 |
0.2 |
10 |
| KF-F1 |
FH-302 |
9.0 |
0.2 |
＜0.03 |
0.1 |
0.1 |
＜0.1 |
150 |
| − |
FS-401 |
＜0.2 |
＜0.08 |
＜0.03 |
＜0.05 |
＜0.05 |
＜0.05 |
≦5 |
| SY |
FS-402 |
＜0.04 |
＜0.05 |
＜0.03 |
＜0.02 |
＜0.02 |
＜0.02 |
≦200 |
※品種別代表的分析値 |
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■機械的特性
| 特性 |
透明石英ガラス |
単位 |
| 密度 |
2.203 |
ｇ/cm3 |
| 圧縮強度 |
1.1×109 |
Pa |
| 引張り強度 |
4.8×107 |
Pa |
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各種データは、石英ガラスの測定値を示したもので仕様値ではありません。
また溶接方法、形状などで強度が異なりますので、ご注文の際にはご相談下さい。 |
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■石英ガラス加工品
石英ガラス加工品は、図面等ユーザーの仕様に基づき、豊富な品種群の中から適切な材料を用いて製造されます。納期･仕様等につきましては、最寄りの営業所までお問合せください。 |
・拡散・CVD工程用治具
近年、縦型炉が中心となっており、ウェハのφ300mm化などにより石英の大型化へも対応しています。
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・エッチング・アッシング工程用治具
エッチング・アッシング工程は枚葉処理タイプの装置が多く、その中で使用される石英治具を様々な形状に加工します。
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・洗浄工程治具
ウェハ処理間で必ず行われる洗浄工程にて使用される石英槽です。φ300mmウェハ処理を行うために大型化へも対応しています。
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・その他加工製品
石英ガラス加工品は、半導体プロセス用途にとどまりません。光ファイバのプリフォーム製造にも石英加工品が使用されます。
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