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当社のアルミナ基板は厳選された高純度アルミナ原材料を使用し、厳しい品質管理のもとに生産されており、常に安定した品質と優れた特性を持っております。 |
■特長
| ・ 表面状態… |
微細粒子により気孔が少なく、平滑性・平面性が良い。厚膜・薄膜材料との密着性に優れている。 |
| ・ 寸法精度… |
外形・板厚・スリットピッチ・スリット深さ等の寸法バラツキが少ない。 |
| ・ 反り… |
反り・曲がり・うねりが小さい。 |
| ・ 熱的特性… |
高熱環境下でも物理的・化学的特性が安定しており、耐熱衝撃に優れている。熱伝導率は高く、シリコンに近い熱膨張係数を有する。 |
| ・ 機械的特性… |
機械強度が高く、耐油・耐薬品性に優れている。 |
| ・ 電気的特性… |
絶縁性に優れており、絶縁破壊電圧・表面抵抗・体積抵抗が高く誘電率が小さい。 |
| ・ ブレーク性… |
安定した分割強度を有し、形状・寸法等のバラツキが少ない。 |
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■一般寸法公差
| 項目 |
寸法公差 |
| 基板名 |
AS970 |
HA-96-2 |
HA-996 |
| 外形寸法 |
inch
(max) |
5''×4''
±0.60%, NLT : ±0.05mm |
5''×7''
±0.5%〜0.8%, NLT : ±0.08mm |
5''×5''
±0.60%, NLT : ±0.05mm |
| 板厚 |
mm |
0.18〜0.80
±10.0%, NLT : ±0.04mm |
0.25,0.38,
0.5,0.635,
0.8,1.0,1.2
±10.0%, NLT : ±0.05mm |
0.25,0.38,
0.635,0.8
±10.0%, NLT : ±0.04mm |
| 反り |
mm |
＞0.06/25.4
±0.24%, NLT : ±0.05mm |
0.08/25.4
±0.32% |
0.08/25.4
NLT : ±0.05min |
| 穴 |
mm |
0.18〜0.80
±0.60%, NLT : ±0.05mm |
φ0.20〜
±10.0%, NLT : ±0.05mm |
φ0.20〜
±10.0%, NLT : ±0.05mm |
| 表面粗さ Ra |
μm |
0.3 |
0.3 |
0.1 |
グレーズ処理
表面粗さ |
μm |
− |
0.01 |
0.01 |
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■特性値
| 項目 |
AS970 |
HA-96-2 |
HA-996 |
| アルミナ純度 |
% |
|
96.0 |
96.0 |
99.6 |
| 見かけ比重 |
g/cm2 |
|
3.7 |
3.75 |
3.85 |
| 呈色 |
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|
白色 |
白色 |
白色 |
| 機械的特性 |
圧縮強度 |
GPa |
|
- |
1.05 |
1.2 |
| 曲げ強度 |
MPa |
|
320 |
330 |
400 |
| 熱的特性 |
線膨張係数 |
×10-6/K |
25〜800℃ |
7.3 |
7.7 |
8.1 |
| 熱伝導率 |
W/m ･ K |
25℃ |
21.79 |
23.8 |
29.3 |
| 300℃ |
13.4 |
13.8 |
14.7 |
| 電気的特性 |
誘電率 |
|
1MHz 25℃ |
9.4 |
9.5 |
9.7 |
| 誘電損失 |
|
1MHz 25℃ |
0.0003 |
0.0003 |
0.0001 |
| 体積固有抵抗 |
Ω ･ m |
25℃ |
≧1×1014 |
≧1×1013 |
≧1×1013 |
| 500℃ |
8.2×1010 |
3×107 |
8×109 |
| 700℃ |
3.5×107 |
4×106 |
1×107 |
| 絶縁破壊電圧 |
KV/mm |
AC60Hz |
14 |
14 |
18 |
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■表面状態・電子顕微鏡写真(SEM)
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■表面粗さ
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